G4系列高精度旋轉涂敷機應用于在平面基板上高精度的液體材料涂敷，象光刻膠、聚酰亞胺、金屬有機化合物、攙雜劑、硅質薄膜等。G4旋轉涂敷機系統在操作精度和編程靈活性方面采用了新的標準，具有很高的旋轉精度和重復精度，擁有精度極高的加速/減速控制。

吸盤（卡盤）旋轉速度：0-9,999轉/分鐘
加速度/減速度：0.1 – 25.5秒，0.1秒為增量
駐留時間：0-999秒，0.1秒為增量
點膠時間：1-25.5秒，0.1秒為增量